近日，盛美上海于临港举行“盛美半导体设备研发与制造中心试生产仪式” ，同时首台设备出机。

　　据悉，盛美半导体设备研发与制造中心（以下简称“盛美临港项目”）共有5个单体，包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房，建筑面积近13.8万平方米，其中厂房面积4万平方米，满产运行后预计将带来百OB欧宝体育官方网址亿产值。

　　资料显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立于2005年，集研发、设计、制造、销售于一体，主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。